单一说的话，锆靶材就是高速荷能粒子轰击的指标资料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换分歧的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、铬、镍靶等），即可得到分歧的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。 

重要利用在： 

1、微电子领域 

2、平面显示器用靶材 

3、存储技术用靶材等